Solar Metrology의 SMX 시스템은 네가지 종류의 XRF 측정장비들로서, SMX-BEN, 큰사이즈의 PV panel 분석 시스템인 SMX-FPV와 다양한 In-line, SMX-ILH와 Rigid Glass와 Flexible web (스테인레스 스틸과 폴리이미드) substrate들에 사용되는 in-situ 시스템인 SMX-ISI 모델이 있습니다.
모든 SMX 장비 모델들은 공통의 XRF엔진과 소프트웨어, 최상의 Control, 데이터의 항상성과 재현성을 가져다 드릴 것입니다.
SMX-BEN 모델은 공정개발과 분석에 사용되며, 경제적인 가격과 효율적인 탁상형 장비입니다.
SMX-FPV 모델은 큰 panel 사이즈의 PV glass sustrate의 측정에 사용됩니다.
SMX-ILH 모델은 Depo공정 이후의 in-line에 연결되어 사용되므로 실시간으로 필름 두께와
 구성비의 통제와 조정이 가능합니다.
SMI-ISI 모델은 진공 챔버내에서 Depo. 모니터링과 통제를 가능하게 사용할 수 있습니다.
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System SMX
Console, in-line and in-situ XRF thin film thickness and composition analysis tools |
System SMX-BEN
Benchtop XRF analysis tools |
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